質量計測製品

プロセスの分析のための精密測定を提供

METRYX® 製品ファミリ

技術:質量計測
ソリューション: トランジスタ, 相互接続, パターニング, 先進メモリ, パッケージング

インラインプロセスモニタリングを使用して、製造上のウエハートレンドとその逸脱を識別し、それらが発生すると、歩留まり損失防止のために直ちに修正を行います。デポジション、エッチ、クリーンステップでは、ウエハーの質量変化の測定は、モニタリングとコントロールのシンプルかつ直接的な手段であり、特に新しいチップデザインにおけるウルトラ薄膜、ウルトラ厚膜および複雑な3D形状にあてはまります。これらに対しては、これまでの光学的な計測技術は効果的ではありません。

LamのMetryx 質量計測システムは、プラットフォームインテグレーションモジュールとしてもスタンドアロンシステムとしても利用でき、先進のプロセスモニタリングおよび3Dデバイス構造のコントロール用として、サブミリグラムの計測機能を有しています。

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